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  • 苏州方昇光电取得集成式磁控溅射设备专利,大大提高了设备的集成度

    0次浏览     发布时间:2025-05-17 21:08:00    

    金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,苏州方昇光电股份有限公司取得一项名为“一种集成式磁控溅射设备”的专利,授权公告号CN222878065U,申请日期为2024年7月。

    专利摘要显示,本实用新型涉及一种集成式磁控溅射设备,包括:工作台、溅射组件和镀膜组件;工作台上设设置有反应仓;溅射组件设置在反应仓内;溅射组件包括溅射靶材、调节架和第一柔性管;调节架设置在溅射靶材底部的两侧,调节架设置在反应仓底部,第一柔性管的两端连接溅射靶材和反应仓外部;镀膜组件包括直线模组、驱动源、中心轴和料盘,直线模组设置在反应仓外侧的顶部,驱动源与直线模组的滑座连接,驱动源与中心轴连接,中心轴连接料盘,料盘底部的两侧设置有滑槽,滑槽之间卡设基片。本实用新型将溅射组件和镀膜组件集成在反应仓内,结构简单,方便操作,大大提高了设备的集成度,减小了设备的体积和重量,使得设备更加便携。

    天眼查资料显示,苏州方昇光电股份有限公司,成立于2008年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1412.9335万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州方昇光电股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目85次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息77条,此外企业还拥有行政许可4个。

    本文源自金融界

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